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脉冲激光外延制备系统
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产品: 浏览次数:2脉冲激光外延制备系统 
品牌: 科睿设备
单价: 面议
最小起订量: 2 套
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2024-02-23 16:41
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详细信息
脉冲激光外延制备系统

凭借着优异的性能,PVD公司生产的脉冲激光沉积分子束外延系统在国内外拥有较多用户,为众多老师开启薄膜外延制备的新篇章。

PVD公司是美国主要制造商,是一家专业从事脉冲激光沉积分子束外延(PLDMBE)和超高真空薄膜沉积系统及组件的设计和制造的公司,提供超高真空薄膜沉积系统,应用于分子束外延、UHV溅射和脉冲激光沉积。产品主要集中在小型研究开发系统,其应用主要包括:

用分子束外延进行半导体材料、ZnO、GaN、SiGe和金属/氧化物外延生长;

UHV磁控溅射磁性薄膜;

脉冲激光沉积超导薄膜、氧化物和陶瓷材料。

脉冲激光外延制备系统主要配置:

主腔室,样品传输腔,1100度加热系统,样品旋转,PLD靶材操控器及光路,K-cell热蒸发源,电子束蒸发源,射频RF离子源。

应用主要包括:

分子束外延系统(MBE);

GaAs、InP和GaSb外延;

HgCdTe外延;

GaN、InN和AlN外延;

Ⅱ-Ⅵ族外延;

SiGe外延;

Si/金属/氧化物外延;

超高真空物理气相沉积(PVD)系统;

磁控溅射系统;

脉冲激光沉积(PLD)系统;

电子束蒸发系统;

离子束沉积系统;

热蒸发系统。

更多详情:http://www.airtest.net.cn/Products-31158897.html
https://www.chem17.com/st17159/product_31158897.html
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